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隨著科技發(fā)展，半導(dǎo)體在國內(nèi)的發(fā)展日漸明顯，半導(dǎo)體材料廣泛應(yīng)用于制造電子，電器。也可以用來制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。就像液晶電視制作，手機(jī)行業(yè)都屬于半導(dǎo)體行業(yè)。那么在生產(chǎn)制作這些半導(dǎo)體材料時會產(chǎn)生一些有害氣體，這些氣體屬于二次污染氣體，會對大氣污染造成一定的危害。
由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒有經(jīng)過很好的處理進(jìn)行排放，將造成嚴(yán)重的問題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，也會成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來源。
在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法，通過研究，活性炭對這些有毒氣體的清除十分有效。半導(dǎo)體行業(yè)再生產(chǎn)材料過程中，車間會存留一定的有機(jī)氣體。這些氣體通過安裝廢氣處理設(shè)備，廢氣處理設(shè)備內(nèi)裝有活性炭，就可以達(dá)到凈化排放標(biāo)準(zhǔn)。活性炭吸附法投資小、工藝簡單，易飽和，但是必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求。
活性炭主要時通過氣相吸附凈化其中的有機(jī)廢氣，包括廢氣中所含有苯，甲苯，二氧化碳等有毒物質(zhì)。活性炭采用優(yōu)質(zhì)環(huán)保椰殼為上等原料，經(jīng)系列生產(chǎn)工藝加工而成的一種椰殼活性炭。具有耐磨強(qiáng)度好、空隙發(fā)達(dá)、吸附性能高、強(qiáng)度高、易再生、經(jīng)濟(jì)耐用等優(yōu)點。
活性炭廣泛用于有害氣體的凈化，廢氣處理，漆霧吸附等。對于化工、石化、煉焦、環(huán)保等行業(yè)的氣體處理及對SO2、氯苯、辛烷、乙胺、二甲基苯、環(huán)已烷、甲醚、嗅化氫、二氧化硫、二硫化硒碳、氯乙烯、甲醇、丙酮、氧化氮等工業(yè)有害氣體的凈化處理。
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